WT-2000 là thiết bị kiểm tra wafer dạng để bàn, phù hợp cho nhà máy sản xuất quy mô trung bình và phòng thí nghiệm R&D, chuyên dùng để phát hiện tạp chất kim loại nặng và khuyết tật tinh thể với độ chính xác cao.
Kích thước wafer hỗ trợ: lên đến 300 mm, bao gồm wafer trần hoặc phủ lớp điện môi
Xử lý wafer: thủ công hoặc sử dụng bộ nạp cassette (indexer) do Semilab cung cấp
Bộ nạp cassette 100–200 mm
Bộ nạp cassette 13 khe cho wafer 300 mm, hỗ trợ cả cassette mở (open cassettes) cho 100–300 mm
Bộ nạp cassette 25 khe cho 300 mm, bao gồm FOUP, FOSB và cassette mở
Phát hiện tạp chất kim loại nặng và kim loại chuyển tiếp
Phát hiện khuyết tật tinh thể
Tùy chọn mở rộng: đo nồng độ sắt (Fe) trong wafer CZ và FZ
Không giới hạn độ dày wafer
Tốc độ đo nhanh, độ phân giải không gian cao
Yêu cầu lớp passivation: oxide nhiệt, xử lý hóa học hoặc nạp điện (corona charging)
Thiết bị có thể được cấu hình linh hoạt theo yêu cầu người dùng, bao gồm các tính năng đo bổ sung và tự động hóa
