SRP-170 là hệ thống đo Spreading Resistance Profiling (SRP) thương mại với chi phí hợp lý, được thiết kế để phân tích điện trở suất và mật độ hạt tải trong tất cả các cấu trúc silicon bán dẫn dùng trong chế tạo linh kiện.
Nồng độ tạp chất (dopant) và điện trở suất
Mật độ hạt tải và hình dạng phân bố điện trở
Độ sâu tiếp giáp (junction depth)
Độ rộng vùng chuyển tiếp
Liều lượng tạp chất được kích hoạt điện
Tính toán độ sâu tiếp giáp và vùng chuyển tiếp
Bàn đo siêu chính xác, độ nhiễu cực thấp
Buồng đo với khả năng cách âm và chống rung hiệu quả
Giao diện người dùng cảm ứng, phần mềm vận hành thân thiện, dễ sử dụng
